低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的*四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。 DDBD等离子体反应区富含较高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在较短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较低温等离子废气处理设备技术，DDBD等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。 将废气处理系统管道进气口与设备进气口用法兰连接，管道出气口与设备出气口用法兰连接，使废气臭气经过处理设备进行处理。 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在较短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。） 低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理中较有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域VOC类**废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
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