本发明公开一种废气处理装置，其包括废气处理机以及气体导入装置。气体导入装置连接于废气处理机的出口端的管路上，其中气体导入装置导入的气体的湿度低于废气处理机内的尾气的湿度。

　　温室效应，其中又以氟化的化合物或全氟化合物(per-fluoro compounds；

　　务端的进气管时，气体导入装置导入的气体例如是干净干燥气体(clean dry

　　体导入装置130。在本实施例中，废气处理机110包括废气处理腔室112。

　　Compounds；VOCs)等半导体制作工艺或其他工业制作工艺的废气。废气

　　洗涤塔120与废气处理腔室112连通。经由废气处理腔室112热分解后的高

　　嘴122，可将来自于循环水槽150中的循环水152喷洒于洗涤塔120中。喷

　　洒于洗涤塔120中的循环水152可作为洗涤液使用，以将洗涤塔120中的废

　　至洗涤塔120中。此外，通过液体喷嘴122喷洒于洗涤塔120中的循环水152

　　可流入循环水槽150，因此循环水槽150中的循环水152可重复提供至液体

　　于洗涤塔120中。利用液体喷嘴122喷洒循环水152于填充材料124上，可

　　在本实施例中，热交换器160包括循环水管路162以及冷却水循环装置164。

　　热交换器160的材料例如是铁氟龙(TEFLON)，可降低因循环重复使用循

　　环水152后所产生强酸性对热交换器160的循环水管路162造成腐蚀。循环

　　水管路162的一端与循环水槽150连接废气处理装置pdf，循环水管路162的另一端与洗涤塔

　　120的液体喷嘴122连接。在本实施例中，循环水管路162的另一端可利用

　　160还可包括冷却水输入管路166与冷却水输出管路168。冷却水输入管路

　　循环水152经过热交换器160而传送到洗涤塔120中，再利用液体喷嘴122

　　部分的循环水管路162的容积，因此当循环水槽150中的循环水152经过冷

　　管路162内循环水152的温度，使提供至液体喷嘴122进行喷洒的循环水152

　　中，经过冷却水循环装置164冷却后的循环水152的温度可降至25℃以下。

　　在本实施例中，气体导入装置130例如是连接于管路104的预留孔106。在

　　出。当废气在经过出口端102的管路104时，气体导入装置130将气体导入

　　出口端102的管路104中，其中气体导入装置130所导入的气体湿度低于废

　　导入装置130。止逆阀134可将气体导入出口端102的管路104中，其中止

　　自动分流模式从止逆阀134导入的气体量为25LPM(200×1/8＝25)，且尾气

　　比例也同为1/8，因此通过自动分流模式从止逆阀134导入的气体量为12.5

　　的抽气量为200LPM且以定流模式所导入的气体量为25LPM时，则尾气的

　　为75LPM(100-25＝75)，尾气的抽气量明显受到以定流模式所导入的气体量

　　接于出口端102的管路104。连接于厂务端的进气管136可将气体导入出口

　　端102的管路104中，其中连接于厂务端的进气管136导入的气体湿度低于

　　于厂务端的进气管136)导入出口端102的管路104中的气体的湿度小于废

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　　本发明公开一种废气处理装置，其包括废气处理机以及气体导入装置。气体导入装置连接于废气处理机的出口端的管路上，其中气体导入装置导入的气体的湿度低于废气处理机内的尾气的湿度。。edLuxiang.com。