活性炭吸附法利用吸附剂（活性碳、硅胶、分子筛等）对废气中有机组分的高效吸附性能，使废气通过吸附剂层后得以净化。最常用的吸附技术采用的吸附介质是活性炭（棒状或颗粒活性炭）有机废气处理方法。吸附法净化效率高（随着吸附剂的饱和，净化效率逐渐降低）、运行费用高（更换吸附剂的成本非常高）、投资成本低、给环境带来固体废弃物的二次污染。目前主要应用于大风量、低浓度（≤800mg/m3）、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。

　　离子净化法利用介质阻挡放电过程中，离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2 和 H2O 等物质，从而达到净化废气的目的。目前市场上很多低温等离子名义上是电离废气，实际是电离空气产生臭氧，利用臭氧的强氧化性来进行废气处理。低温等离子的放电效果和空气的湿度有极大的关系，湿度越大能耗越大，大量能量会被水分子吸收，从而降低电离效果。使用低温等离子处理废气，废气直接经过放电系统，对于易燃易爆气体带来很大安全隐患，容易造成火灾等重大安全事故。

　　燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行完全燃烧，分解为CO2和H2O。燃烧法适用于各类有机废气，可以分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧。

　　排放浓度大于5000mg/m³ 的高浓度废气一般采用直接燃烧法，该方法将VOCs废气作为燃料进行燃烧，燃烧温度一般控制在1100℃，处理效率高，可以达到95％一99％。

　　热力燃烧法适合于处理浓度在1000—5000 mg/m³ 的废气，采用热力燃烧法，废气中VOCs浓度较低，需要借助其他燃料或助燃气体，热力燃烧所需的温度较直接燃烧低，大约为540—820℃。燃烧法处理VOCs废气处理效率高，但VOCs废气若含有S、N等元素，燃烧后产生的废气直接外排会导致二次污染。

　　通过采用 UV-D 波段内的线nm），破坏有机废气分子的化学键，使之裂解形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）；同时通过裂解混合空气中的氧气，使之形成游离的氧原子并结合生成臭氧【UV＋O2→O-+O＊(活性氧) O+O2→O3(臭氧)】。具有强氧化性的臭氧（O3）与有机废气分子被裂解生成的原子发生氧化反应，形成 H2O 和 CO2。整个反应过程不超过 0.1 秒，净化效果与废气分子的键能、废气浓度以及含氧量有关。整个净化过程无需添加任何化学助剂或者特殊限制条件。