半导体生产过程中产生的废气主要包括硅烷、氨气、硫酸雾、氮氧化物等有害物质。这些废气不仅对环境造成污染，而且对人体健康也有潜在威胁。因此，半导体行业的废气处理技术对于保护生产环境、员工和周围居民健康具有重要的意义。

　　二、半导体行业废气处理工艺现状目前，半导体行业废气处理主要采用物理法、化学法和生物法。物理法包括吸附法、冷凝法和膜分离法；化学法主要是通过化学反应来转化废气成分；生物法则是利用微生物的代谢作用来净化废气。其中，吸附法是一种常用的处理方法，它能有效去除废气中的有害物质。冷凝法主要用于处理高浓度的氨气和硫酸雾。膜分离法则适用于处理含有微量有机物的废气。而生物法则是一种环保且经济的处理方法，它能将废气中的有害物质转化为无害物质。