低温等离子体内部产生富含较高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其他方法难以处理的多组分恶臭、有机废气、设备占地面积小；电子能量高，可以和很多的恶臭、有机废气分子作用；运行费用低；反应快，停止十分迅速，随用随开。但对含水低温等离子体废气处理装置、含尘、有机废气易爆炸，一次性投资费高。