低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。

　　常规意义上的等离子体态是中性气体中产生了相当数量的电离。当气体温度升高到其粒子的热运动动能与气体的电离能可以比拟时，粒子之间通过碰撞就可以产生大量的电离过程。

　　并非只有完全电离的气体才是等离子体，但需要有足够高电离度的电离气体才具有等离子体性质。当体系中“电性”比“中性”更重要时，这一体系可称为等离子体。

　　等离子技术产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对各种工业有机废气及国家《恶臭污染排放标准》中规定的八大恶臭物质均能有效去除。相比其它废气处理方法，等离子体技术具备能耗低、使用便利、无二次污染等特点，是目前废气污染治理中富有前景、行之有效的技术方法。

　　传统治理VOC及异味气体的方法（如吸收法、热氧化法、膜分离法、生物反应法和光催化法等）由于对于低浓度气体治理效率不高低温等离子废气处理环保设备，各国利用不同的冷等离子体发生装置治理废气，通过比较不同放电形式的等离子体对废气的去除效率，发现介质阻挡放电等离子体的去除率，这也成为近几年研究

　　大流量低温等离子废气治理装置为意义上的等离子体废气治理技术。所要治理的废气通过等离子体区，使之离子化，形成电离状态，在高能电子和粒子的轰击下，加之等离子体态中丰富的氧化活性基团，在较短的时间类分解反应成为二氧化碳、水或是小分子化合物。而非单纯的依靠臭氧来氧化反应。

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